在多晶硅鑄錠切片工藝中,硅錠開方以后,需要對其硅塊做紅外探傷測試和少子壽命測試,針對紅外探傷設(shè)備與少子壽命測試儀器需要定期為其做校核工作。
為什么要校核?
探傷校核主要是為了能確定當(dāng)前設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài),及時發(fā)現(xiàn)問題解決問題,確保探傷儀能在正確狀態(tài)下的發(fā)現(xiàn)硅快內(nèi)部硬質(zhì)點(diǎn)、隱裂等缺陷。
少子壽命測試儀的校核是為了確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性,測試錠的制作能彌補(bǔ)當(dāng)前少子壽命校核片由于薄而易碎的不足,同時從應(yīng)用角度上看校核錠也是實(shí)際生產(chǎn)測試最一致的,也保證了它的實(shí)用性。
注意事項(xiàng):
由于表面少子壽命會隨著時間的增長而衰減,校核錠都有它的有效期,需要定期對其進(jìn)行重新校核,其周期一般為5個月。
注:以下分別為少子校核與紅外探傷校核的過程測試圖。